高純氣體是氣體工業(yè)中的一個(gè)術(shù)語(yǔ)，通常是指現(xiàn)代凈化技術(shù)可以達(dá)到的一定純度的氣體。高純氣體對(duì)不同種類的氣體有不同的純度指標(biāo)。高純氣體的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純氮?dú)狻錃?、氬氣、氦氣可作為載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為基礎(chǔ)氣體制備混合氣體。今天給大家介紹一下高純氣體管道的主要施工要點(diǎn)，以及高純氣體管道的主要施工要點(diǎn)：

一、高純氣體管道施工前準(zhǔn)備

1、安排人工，準(zhǔn)備施工機(jī)械設(shè)備。

2、建造潔凈度1000級(jí)的裝配式房間。

3、分析施工圖，根據(jù)工程特點(diǎn)和實(shí)際情況編制施工方案，并進(jìn)行技術(shù)講解。

二、管道預(yù)制

1、由于高純氣體管道對(duì)潔凈度要求高，為減少安裝現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作量，保證潔凈度，管道施工應(yīng)先在1000級(jí)預(yù)制房?jī)?nèi)進(jìn)行預(yù)制。高純氣體管道施工人員穿著干凈的衣服，清潔工器具，施工人員要有強(qiáng)烈的清潔意識(shí)，盡量減少施工過程中對(duì)管道的污染。

2、管件焊接應(yīng)在焊管前編制焊接工藝并輸入到現(xiàn)役焊工中，試焊試樣合格后方可進(jìn)行焊接。高純氣體管道焊接一天后，可再次焊接樣品。如果樣品合格，焊接參數(shù)已經(jīng)存儲(chǔ)在焊機(jī)中，并且在焊接過程中主動(dòng)焊機(jī)非常穩(wěn)定，因此焊接質(zhì)量也合格。焊接質(zhì)量由微電腦控制，減少了人為因素對(duì)焊接質(zhì)量的影響，既提高了工作效率，又獲得了高質(zhì)量的焊縫。

3、管道切割。使用專用切割工具切割高純氣體管道。切割端應(yīng)與管道軸線筆直。切割管道時(shí)，應(yīng)采取措施防止外界灰塵和空氣污染高純氣體管道內(nèi)部。材料應(yīng)分組編號(hào)，以便于對(duì)焊。